Linkam : THMSEL600 

THMS600 Ellipsometry stage เหมาะสำหรับใช้กับ EllipsometersTHMS600 เป็นหนึ่งในขั้นตอนการให้ความร้อนที่ใช้กันอย่างแพร่หลายมากที่สุด และตอนนี้ได้มีการปรับเปลี่ยนด้วยอะแดปเตอร์ออปติคัลพิเศษเพื่ออำนวยความสะดวกในการใช้งานบนเครื่องวัดระยะไข่ เวทีนี้ได้รับการพัฒนาร่วมกับผู้ผลิตเครื่องมือวัดวงรีชั้นนำของโลกบางราย ออกแบบเพื่อให้เข้าถึงตัวอย่างด้วยแสงได้อย่างเหมาะสมที่สุด

ตัวอย่างสามารถระบุลักษณะได้อย่างรวดเร็วโดยให้ความร้อนภายในสองสามองศาของอุณหภูมิที่ต้องการในอัตราสูงถึง 150°C/นาที โดยไม่มีการโอเวอร์โหลด จากนั้นจึงลดความเร็วลงเหลือสองสามในสิบขององศาต่อนาทีเพื่อตรวจสอบการเปลี่ยนแปลงของตัวอย่างอย่างใกล้ชิด THMSEL600 มีช่วงอุณหภูมิ < -195 °C ถึง 600 °C

THMS600 Ellipsometry stage, optimised for use with Ellipsometers

The THMS600 is one of the most widely used heating stages, and has now been modified with a special optical adapter to facilitate use on an ellipsometer. Developed in collaboration with some of the world’s leading ellipsometer manufacturers, the stage has been designed to allow optimal optical access to the sample.

Samples can be quickly characterised by heating to within a few degrees of the required temperature at a rate of up to 150°C/min with no overshoot, then slowed down to a few tenths of a degrees per minute to closely examine sample changes. 

The THMSEL600 has a temperature range of < -195°C to 600°C.